কেন এফএবি ক্লিন রুমকে আর্দ্রতা নিয়ন্ত্রণ করতে হবে?

Humidity is a common environmental control condition in the operation of cleanrooms. আর্দ্রতা পরিচ্ছন্ন ঘরগুলির অপারেশনে একটি সাধারণ পরিবেশ নিয়ন্ত্রণের শর্ত। The target value of relative humidity in the semiconductor clean room is controlled to be in the range of 30 to 50%, allowing the error to be within a narrow range of ±1%, such as a photolithographic area - or even smaller in the far ultraviolet processing (DUV) area. সেমিকন্ডাক্টর ক্লিন রুমে আপেক্ষিক আর্দ্রতার লক্ষ্যমাত্রাটি 30 থেকে 50% এর পরিসীমাতে নিয়ন্ত্রণ করা হয়, ফলে ত্রুটিটি 1 ± এর সংকীর্ণ পরিসরের মধ্যে যেমন কোনও ফোটোলিথোগ্রাফিক অঞ্চলে - বা এমনকি দূরে ছোট হয় অতিবেগুনী প্রক্রিয়াকরণ (ডিইউভি) অঞ্চল। - In other places, you can relax to within ±5%. - অন্যান্য জায়গায়, আপনি ± 5% এর মধ্যে শিথিল করতে পারেন।

কারণ আপেক্ষিক আর্দ্রতার বেশ কয়েকটি কারণ রয়েছে যা পরিষ্কার ঘরটির সামগ্রিক কর্মক্ষমতাতে অবদান রাখতে পারে, সহ:

● ব্যাকটিরিয়া বৃদ্ধি;

Temperature কর্মীরা ঘরের তাপমাত্রায় স্বাচ্ছন্দ্য বোধ করে;

● স্থির চার্জ প্রদর্শিত হবে;

● ধাতব জারা;

● জলীয় বাষ্প ঘনীভবন;

লিথোগ্রাফির অবক্ষয়;

● জল শোষণ।

Bacteria and other biological contaminants (mold, viruses, fungi, mites) can actively multiply in environments with relative humidity above 60%. ব্যাকটিরিয়া এবং অন্যান্য জৈবিক দূষক (ছাঁচ, ভাইরাস, ছত্রাক, মাইট) 60% এর উপরে আপেক্ষিক আর্দ্রতার সাথে পরিবেশে সক্রিয়ভাবে গুণতে পারে। Some flora can grow when the relative humidity exceeds 30%. আপেক্ষিক আর্দ্রতা 30% ছাড়িয়ে গেলে কিছু উদ্ভিদ বাড়তে পারে। When the relative humidity is between 40% and 60%, the effects of bacteria and respiratory infections can be minimized. যখন আপেক্ষিক আর্দ্রতা 40% থেকে 60% এর মধ্যে থাকে তখন ব্যাকটিরিয়া এবং শ্বাস প্রশ্বাসের সংক্রমণের প্রভাব হ্রাস করা যায়।

Relative humidity in the range of 40% to 60% is also a modest range in which humans feel comfortable. 40% থেকে 60% এর পরিসরে আপেক্ষিক আর্দ্রতাও একটি পরিমিত পরিসীমা যা মানুষ স্বাচ্ছন্দ্য বোধ করে। Excessive humidity can make people feel depressed, while humidity below 30% can make people feel dry, chapped, respiratory discomfort and emotional discomfort. অতিরিক্ত আর্দ্রতা মানুষকে হতাশায় পরিণত করতে পারে, যখন 30% এর নিচে আর্দ্রতা মানুষকে শুকনো, চ্যাপ্টা, শ্বাসযন্ত্রের অস্বস্তি এবং মানসিক অস্বস্তি বোধ করতে পারে।

High humidity actually reduces the accumulation of static charge on the surface of the clean room - this is the desired result. উচ্চ আর্দ্রতা প্রকৃতপক্ষে পরিষ্কার ঘরের পৃষ্ঠের উপর স্থির চার্জ জমা করতে হ্রাস করে - এটি পছন্দসই ফলাফল। Lower humidity is more suitable for charge accumulation and a potentially damaging source of electrostatic discharge. নিম্ন আর্দ্রতা চার্জ জমে এবং ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক স্রাবের সম্ভাব্য ক্ষতিকারক উত্সের জন্য আরও উপযুক্ত। When the relative humidity exceeds 50%, the static charge begins to dissipate rapidly, but when the relative humidity is less than 30%, they can persist for a long time on the insulator or the ungrounded surface. আপেক্ষিক আর্দ্রতা 50% ছাড়িয়ে গেলে, স্থির চার্জটি দ্রুত ছড়িয়ে পড়তে শুরু করে, তবে যখন আপেক্ষিক আর্দ্রতা 30% এরও কম হয়, তখন তারা দীর্ঘস্থায়ী বা নিরবচ্ছিন্ন পৃষ্ঠের উপর দীর্ঘ সময় ধরে থাকতে পারে।

35% থেকে 40% এর মধ্যে আপেক্ষিক আর্দ্রতা একটি সন্তোষজনক সমঝোতা হতে পারে এবং অর্ধপরিবাহী ক্লিনরুম সাধারণত স্থিতিশীল চার্জ সঞ্চারকে সীমাবদ্ধ করতে অতিরিক্ত নিয়ন্ত্রণ ব্যবহার করে।

The speed of many chemical reactions, including the corrosion process, will increase as the relative humidity increases. আপেক্ষিক আর্দ্রতা বৃদ্ধির সাথে জারা প্রক্রিয়া সহ অনেক রাসায়নিক বিক্রিয়ার গতি বৃদ্ধি পাবে। All surfaces exposed to the air surrounding the clean room are quickly covered with at least one monolayer of water. পরিষ্কার কক্ষের চারপাশে বাতাসের সংস্পর্শে থাকা সমস্ত তলগুলি কমপক্ষে এক মণোলেয়ার জল দিয়ে areেকে দেওয়া হয়। When these surfaces are composed of a thin metal coating that can react with water, high humidity can accelerate the reaction. যখন এই পৃষ্ঠগুলি একটি পাতলা ধাতব আবরণের সমন্বয়ে গঠিত যা জলের সাথে প্রতিক্রিয়া জানাতে পারে, তখন উচ্চ আর্দ্রতা প্রতিক্রিয়া ত্বরান্বিত করতে পারে। Fortunately, some metals, such as aluminum, can form a protective oxide with water and prevent further oxidation reactions; ভাগ্যক্রমে, কিছু ধাতু, যেমন অ্যালুমিনিয়াম, জল দিয়ে একটি প্রতিরক্ষামূলক অক্সাইড গঠন করতে পারে এবং আরও জারণের প্রতিক্রিয়া রোধ করতে পারে; but another case, such as copper oxide, is not protective, so In high humidity environments, copper surfaces are more susceptible to corrosion. তবে আর একটি ক্ষেত্রে যেমন কপার অক্সাইড প্রতিরক্ষামূলক নয়, তাই উচ্চ আর্দ্রতার পরিবেশে তামা তলগুলি ক্ষয়ের পক্ষে বেশি সংবেদনশীল।

In addition, in a high relative humidity environment, the photoresist is expanded and aggravated after the baking cycle due to the absorption of moisture. তদতিরিক্ত, একটি উচ্চ আপেক্ষিক আর্দ্রতা পরিবেশে, আর্দ্রতা শোষণের কারণে বেকিং চক্রের পরে ফোটোরোস্ট বিস্তৃত হয় এবং বাড়িয়ে তোলে। Photoresist adhesion can also be negatively affected by higher relative humidity; উচ্চতর আপেক্ষিক আর্দ্রতার দ্বারা ফোটোরিস্ট আঠালোও নেতিবাচকভাবে প্রভাবিত হতে পারে; lower relative humidity (about 30%) makes photoresist adhesion easier, even without the need for a polymeric modifier. কম আপেক্ষিক আর্দ্রতা (প্রায় 30%) ফটোরেজিস্ট আনুগত্যকে সহজ করে তোলে এমনকি পলিমারিক সংশোধক ছাড়াও।

Controlling relative humidity in a semiconductor clean room is not arbitrary. অর্ধপরিবাহী পরিষ্কার রুমে আপেক্ষিক আর্দ্রতা নিয়ন্ত্রণ করা স্বেচ্ছাসেবী নয়। However, as time changes, it is best to review the reasons and foundations of common, generally accepted practices. তবে সময় পরিবর্তনের সাথে সাথে, সাধারণভাবে গৃহীত অভ্যাসগুলির কারণ ও ভিত্তি পর্যালোচনা করা ভাল।

আর্দ্রতা আমাদের মানবিক স্বাচ্ছন্দ্যের জন্য বিশেষভাবে লক্ষণীয় নয়, তবে এটি প্রায়শই উত্পাদন প্রক্রিয়াতে একটি দুর্দান্ত প্রভাব ফেলে, বিশেষত যেখানে আর্দ্রতা বেশি থাকে এবং আর্দ্রতা প্রায়শই সবচেয়ে খারাপ নিয়ন্ত্রণ হয়, যার কারণেই পরিষ্কার ঘরের তাপমাত্রা এবং আর্দ্রতা নিয়ন্ত্রণে , আর্দ্রতা পছন্দ করা হয়।