কোম্পানির খবর সেমিকন্ডাক্টর কারখানায় মডুলার ক্লিনরুমের সাধারণ শ্রেণি কী?

সেমিকন্ডাক্টর কারখানায় মডুলার ক্লিনরুমের সাধারণ শ্রেণী কী?

সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাবগুলিতে মডুলার ক্লিনরুমগুলি নির্দিষ্ট উত্পাদন প্রক্রিয়া দ্বারা নির্ধারিত কঠোর বায়ু পরিচ্ছন্নতার মান পূরণের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে, প্রধানত ISO 14644-1 শ্রেণীবিভাগ সিস্টেমের সাথে সঙ্গতিপূর্ণ। সবচেয়ে সাধারণ স্তরগুলি নিম্নরূপ:

1. ISO ক্লাস 4 (Fed-Std-209E ক্লাস 10 এর সমতুল্য) এটি সর্বোচ্চ স্তর যা সাধারণত মডুলার আকারে প্রয়োগ করা হয়। এটি সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ প্রক্রিয়া ক্ষেত্রগুলির জন্য সংরক্ষিত, যেমন উন্নত নোড ফটোলিথোগ্রাফি বে, মূল পাতলা-ফিল্ম ডিপোজিশন জোন এবং EUV (এক্সট্রিম আল্ট্রাভায়োলেট) লিথোগ্রাফি পরিবেশ। এই ক্ষেত্রগুলিতে 0.1 μm এর মতো ছোট কণাগুলির জন্য প্রায় শূন্য কণা গণনার প্রয়োজন হয়। মডুলার ক্লিনরুমগুলি সিলিংয়ে HEPA বা ULPA ফিল্টার ফ্যান ফিল্টার ইউনিট (FFU) এর ঘন অ্যারেগুলির মাধ্যমে এটি অর্জন করে, যা উত্থাপিত মেঝেতে একটি একমুখী, উল্লম্ব ল্যামিনার এয়ারফ্লো তৈরি করে। এগুলি তাপমাত্রা, আর্দ্রতা এবং কম্পনের জন্য কঠোর নিয়ন্ত্রণের সাথে একীভূত।

2. ISO ক্লাস 5 (ক্লাস 100): এটি মূল ফ্যাব্রিকেশন ক্ষেত্রগুলির জন্য প্রধান মান। ডিফিউশন, এচিং, আয়ন ইমপ্লান্টেশন এবং কেমিক্যাল মেকানিক্যাল প্ল্যানারাইজেশন (CMP) এর মতো প্রক্রিয়াগুলির জন্য বেশিরভাগ মডুলার ক্লিনরুমগুলি মেইনস্ট্রিম লজিক এবং মেমরি ফ্যাবগুলিতে ISO 5 এর জন্য নির্মিত। এগুলি একটি নিয়ন্ত্রিত পরিবেশ সরবরাহ করে যেখানে 0.5 μm এর চেয়ে বড় কণাগুলির জন্য কণা গণনা প্রতি ঘনমিটারে 3,520 এ সীমাবদ্ধ। মডুলার নির্মাণ প্রক্রিয়া সরঞ্জাম, ইউটিলিটি চেজ এবং রিটার্ন এয়ার প্লেনামের দক্ষ বিন্যাসকে সক্ষম করে।

3. ISO ক্লাস 6 (ক্লাস 1,000): এগুলি সাধারণত কিছুটা কম গুরুত্বপূর্ণ অঞ্চলগুলির জন্য স্থাপন করা হয়, যেমন নির্দিষ্ট মেট্রোলজি ক্ষেত্র, কিছু সমাবেশ এবং প্যাকেজিং লাইন, ওয়েফার পরিদর্শন স্টেশন এবং পরিষ্কার উপাদান স্থানান্তর করিডোর (AMHS)। এগুলি পাওয়ার সেমিকন্ডাক্টর বা পরিপক্ক প্রক্রিয়া নোডগুলিতে ডিভাইস উৎপাদনের জন্যও উপযুক্ত।

4. ISO ক্লাস 7 (ক্লাস 10,000) এবং ISO ক্লাস 8 (ক্লাস 100,000): এই স্তরের মডুলার ক্লিনরুমগুলি সমর্থন এবং আনুষঙ্গিক ফাংশনগুলি পরিবেশন করে। এগুলি সাধারণত সরঞ্জাম পরিষেবা বে, রাসায়নিক এবং গ্যাস সরবরাহ অঞ্চল (বাল্ক ডেলিভারি জোন), গাউনিং রুম এবং ওয়েফার লোডিং/আনলোডিং প্রস্তুতি এলাকার জন্য ব্যবহৃত হয়। এগুলি বাফার জোন হিসাবে কাজ করে যাতে উচ্চ-শ্রেণীর কোর ফ্যাবগুলিতে দূষণ পৌঁছাতে না পারে।