ইলেকট্রনিক চিপ উৎপাদন প্রক্রিয়ায়, বিভিন্ন উৎপাদন এলাকায় পরিচ্ছন্নতার জন্য প্রয়োজনীয়তা ভিন্ন,মূলত আইএসও ১৪৬৪৪-১ মানের উপর ভিত্তি করে এবং উৎপাদন প্রক্রিয়ার নির্ভুলতার চাহিদা নির্ধারণের জন্যএখানে নির্দিষ্ট প্রয়োজনীয়তা রয়েছে:
লিথোগ্রাফিক এলাকাঃসর্বোচ্চ পরিচ্ছন্নতার প্রয়োজনীয়তা, সাধারণত আইএসও 1-3, 0.1 মাইক্রন এবং উপরে কণা নিয়ন্ত্রণ করতে হবে।ক্ষুদ্র কণা ফটোলিথোগ্রাফি প্যাটার্নের ত্রুটি সৃষ্টি করতে পারে, চিপ কর্মক্ষমতা প্রভাবিত.
ইট এবং জমা দেওয়ার ক্ষেত্রঃউচ্চ পরিচ্ছন্নতার প্রয়োজনীয়তা, সাধারণত আইএসও 3-5, 0.3 মাইক্রন এবং উপরে কণা নিয়ন্ত্রণ করতে হবে।
প্যাকেজিং এলাকাঃমাঝারি পরিচ্ছন্নতার প্রয়োজনীয়তা, সাধারণত আইএসও ৫-৭, ০.৫ মাইক্রন এবং তার উপরে কণা নিয়ন্ত্রণ করতে হবে।
পরীক্ষার এলাকাঃপরিচ্ছন্নতার প্রয়োজনীয়তা কম, সাধারণত আইএসও ৭-৮, ০.৫ মাইক্রন এবং তার বেশি কণা নিয়ন্ত্রণের প্রয়োজন।
রাসায়নিক দ্রব্য সংরক্ষণের এলাকাঃপরিচ্ছন্নতার প্রয়োজনীয়তা কম, সাধারণত আইএসও ৭-৮।
সরঞ্জাম রক্ষণাবেক্ষণের ক্ষেত্রঃন্যূনতম পরিচ্ছন্নতার প্রয়োজনীয়তা, সাধারণত আইএসও ৮ স্তরের।
ড্রেসিং রুম এবং বায়ু ঝরনা:পরিচ্ছন্নতার প্রয়োজনীয়তা মাঝারি, সাধারণত আইএসও ৫-৭।
উপাদান অ্যাক্সেস এলাকাঃপরিচ্ছন্নতার প্রয়োজনীয়তা কম, সাধারণত আইএসও ৭-৮ স্তর।
পরিচ্ছন্নতা বজায় রাখার ব্যবস্থা
বায়ু বিশুদ্ধকরণ সিস্টেমঃবায়ু পরিচ্ছন্নতা নিশ্চিত করার জন্য উচ্চ দক্ষতা ফিল্টার (এইচইপিএ) এবং অতি উচ্চ দক্ষতা ফিল্টার (ইউএলপিএ) দিয়ে সজ্জিত।
বায়ু প্রবাহের সংগঠনঃউল্লম্ব একমুখী প্রবাহ সাধারণত লিথোগ্রাফি অঞ্চলে ব্যবহৃত হয়, এবং অন্যান্য অঞ্চলে অ-একমুখী প্রবাহ ব্যবহার করা যেতে পারে।
তাপমাত্রা এবং আর্দ্রতা নিয়ন্ত্রণঃতাপমাত্রা সাধারণত 22 ° C ± 2 ° C এ নিয়ন্ত্রিত হয় এবং আর্দ্রতা 45%-65% RH এ নিয়ন্ত্রিত হয়।
ধনাত্মক চাপ নিয়ন্ত্রণঃপরিষ্কার এলাকা এবং অশুদ্ধ এলাকার মধ্যে ৫-১০Pa এর একটি ধনাত্মক চাপের পার্থক্য বজায় রাখা উচিত।
সংক্ষেপে, ইলেকট্রনিক চিপ তৈরির পরিচ্ছন্নতার প্রয়োজনীয়তা প্রক্রিয়া এবং অঞ্চলের উপর নির্ভর করে পরিবর্তিত হয়, লিথোগ্রাফি এবং ইটিং অঞ্চলগুলির উচ্চ পরিচ্ছন্নতার প্রয়োজনীয়তা রয়েছে,যখন প্যাকেজিং এবং পরীক্ষার এলাকা তুলনামূলকভাবে কমএই কঠোর পরিচ্ছন্নতা মান চিপ উত্পাদন মান নিশ্চিত করার জন্য গুরুত্বপূর্ণ
ব্যক্তি যোগাযোগ: Mrs. Zhao
টেল: 86 20 13378693703
ফ্যাক্স: 86-20-31213735